真空探針臺的技術指標及主要功能

高低溫真空探針臺是一種用于電子與通訊技術范疇的工藝實驗儀器。

　　高低溫真空探針臺技術指標：

　　1、六個探針臂接口，可以裝置六個探針臂。

　　2、一個CF40真空抽氣口，一個疾速破真空進氣口。

　　3、載物Chuck溫度范圍：4K-500K;CF法蘭接口，零碎極限真空優于5*10-6Pa。

　　4、漏率優于：1.3*10-10Pa.M3/s;探針X-Y-Z三方向挪動，行程：25.4mm，定位精度：10μm。

　　5、雙屏蔽chuck高低溫時到達100FA的測試精度。

　　高低溫真空探針臺主要功能：

　　可以完成樣品在高溫真空環境的測試，完成樣品在10-4PA真空度，4.2K到480K恣意溫度點的準確電學測量，可完成直流和微波(40GHz)的測量。

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